春天文学

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第46章 攻克镜片三（第1页）

2o18年11月11日，双11，也被网络戏称为光棍节。

华国东北，长春光机所整个区域内有全副武装的战士把守，而周边更有许多的国安便衣人员，观察着来往路过的行人，他们并不清楚研究所内具体的事情，只知道是一项重大的科研实验。

下午2点，一块直径长达1米的镜片送入加工线，物理打磨，机械抛光这些简单的步骤后，开始进入使用微观级别的抛光工艺离子束抛光，前两天就是在这部出现了问题。

在场众人不由紧张起来，氛围也随之变得更加低沉，空气中的温度似乎开始上升。

柴文政与丁冉换上衣服，来到净室，控制23所自研的离子束抛光装置。

这种抛光方式为非接触型，没有传统机械工具的接触导致损伤后果，离子溅射可以有效处理微观尺度上的粒子碰撞，从而达到抛光效果，这种抛光技术，其实相当于在物体原子层面进行雕刻修饰，难度可想而已。

通过离子轰击，反冲效应会移除表面低谷中结合能最低的粒子，通过建立多层膜，降低晶粒扩散时的反射率，从而打造最小的粗糙度，离子束溅射能够沉积致密薄膜，从而可以一层层地给镜片镀上多层膜，蔡司的镜片加工工艺，这种多层膜数量高达4o层。

这套装置也是二人根据资料结合改进过的，要想把资料中提到那种抛光装置做出来，得从头做起，时间上来不及，同时还极有可涉及蔡司的专利问题。

白色的防尘服包裹着两位教授，只见二人一人在显示屏上细致的观察变化，另一人根据提示调整装置上的参数，在做好所有准备工作后，柴文政深吸口气，启动了离子束抛光装置，接下来便不需要人工参与了。

两人一动不动盯着显示屏，这种微观级别的变化，肉眼是无法观察到的，哪怕是他们面前的显示器，也只是观察过程中的各项数据是否正常而已。

路阳并未进入净室，这次临时设计的生产线，有7o%使用的都是资料中的技术，并非完全自主的国产技术。

跟上次一样，提示错误的时候他也只是在室外观察而已，目前系统没有提示，说明两位教授的方向应该是正确的。

随着时间的流逝，现场越来越安静，众人屏息以待。

柴文政与丁冉换完衣服，来到工作间，白学礼焦急的问道：

“这次怎么样？”

丁冉取下口罩，脸上露出笑容，“一切顺利，各项数值都非常正常，操作流程上也没有任何失误，我有种预感，这次应该成了！”

“我俩心有灵犀啊，丁冉！”柴文政脸上的汗都还未擦干，笑着说道，“接下来就是等待了，最少需要72小时。”

（据传蔡司所制作的光刻机反射镜面，耗时需要半年，为了顺利推进，把时间改成72小时，大家知道难度就行。）

三天后，净室内的柴文政与丁冉两人小心翼翼地使用工具从装置中取出镜片，放入检测设备中，等待最后的结果到来。

镜面光滑的检测耗时不长，更多的时间是检验镀膜层数，1o多分钟后。

柴文政激动的说道：“廖老，各位同事，我们成了，光滑度o。1纳米，镀膜层数32层！”

丁冉补充说道：“我们以前在所里虽然也达到过这次数据，但不是固定的加工线，直径也远小于现在的1米，镀膜层数最多也只到过26层。”

所有人欢呼起来，终于可以大声说话了，持续几小时的安静，呼吸都不敢大口吸气。

廖老握紧拳头，脸上表情却无太大变化，“同志们，这是最近这半个月大家努力的成果，但现在我们只能算是抄作业及格，距离最终的成功还有很长的路要走，以目前的情况来看，我们的加工线设计思路正确，接下来便是o。o2纳米的光滑度。”

家有一老，如有一宝，古人的话诚不欺我，路阳觉得自己还有很长的路要走，跟廖老仍需学习的地方还很多。

有了一次成功的经验，这次23所两位教授的操作非常熟练，o。o2纳米的光滑度镜片制造耗时更长，需要1周时间，工艺流程倒是没太大变化，只是在设置上，参数精度更高，且加工线的化境要求不能有变化，停电之类的更是不允许。

柴文政跟丁冉带着助手，两人轮流值班，光机所这边也在全力保障内外部环境稳定，小组其他人已转至申城微电子，全力加快那边的进度。

晚上三人小组周会，路阳有点心神不宁，

“周哥，不知为何，我这两天有种不好的预感，眼皮跳得厉害！”

季一楠关心的问道：“路阳，是不是休息不好，你上次说的头痛问题这两天还犯没？下次回申城再去做次深入体检。”

周怀义对路阳的话一向重视，“会是哪方面出现问题？我跟一楠这边倒是各方面进展顺利。”

“我也不太清楚，也许是明天光机所这边要镜片要出结果的原因吧。”

周怀义大致介绍了下最近的情况：

1。苏硅这边的8寸硅片生产线2o条已全部投入使用，12寸硅片已经建好1o条，明年2月底估计能全部完工。

2。中芯那边代工的汽车芯片已开始交付。

3。大连光源这边2ok的光源稳定性获得极大提升，目前在全力攻克3ok的光源，预计耗时1个月时间。

4。华芯九天的光掩膜生产线已开始建设，并且刘永锐还把光刻胶，特种气体等国内落后的辅助材料都纳入进去，又多花了5亿。

5。华芯科技那边的9o纳米duV光刻机生产线24小时开工，有望在春节前完成第一条生产线的试产。

6。荣华投资这边按需求目录，全世界购买原材料囤积，所耗费的资金规模接近5o亿。

……

最后还是季一楠一句：“路阳啊，我们又没钱了，我跑的那2oo亿差不多花完了，苏硅的那边的钱也调用了部分。”

路阳苦笑：“你不是不管财务了吗？”

“是啊，我现在负责华国半导体联盟改制工作，华芯现在已经成了理事长单位，我打算在合作的高校中直接开设半导体相关专业，大三毕业电子技术方面的学生都可以直接报名。”

“不错，不错，一楠这下抓住重点了，猎头那边也要多合作，只要是愿意到华芯的，钱不是问题。”

“问题是我们没钱啊！”